數字氣體流量計——S300

簡介

高性能MFC，為半導體行業量身打造

S300系列數字質量流量控制器/流量計：采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器，結合精細拋光氣路結構以及高精度數字控制電路和算法，實現高精度、低零漂、高重復性控制。該產品配備現場顯示屏和地址編碼開關，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封， 適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環境 。

主要優勢

S1 物理功能模塊豐富

頂部配置有豐富的功能模塊：

* RJ45數字通信接口(可定制

  EtherCAT或RS485協議)

* 地址編碼開關

* 現場顯示屏

* 狀態指示燈

此外，側面配置有M8航空供電接口，顯示直觀、操作簡單，方便用戶進行現場流量監測和控制。

S2 快速響應

1.5ms傳感器響應時間，0.1~0.5s儀表系統響應時間，及時捕捉微小流量變化。

S3 高精度

2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度：

0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)

S4 配備專用上位機

配備功能強大的SmartFlow上位機軟件，支持多臺聯動，方便進行監測和設備配置。

S5 認證產品

通過TüV國際機構CE&EMC認證，或計量院一級校準證書等，符合多項SEMI標準。

*  除非另有說明，本產品標定于以下條件：氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar

   絕壓)、水平放置安裝。

*  建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產生偏差。

*  建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導致額外的壓損。

1  所示量程為氮氣可選量程。

2  %F.S.指誤差占滿量程的百分比。

3  %S.P.指誤差占設定值的百分比。

4  響應時間指達到設定值±2%以內所需要的時間。

5  工作壓力指進氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓，更多細節請聯系我們。

尺寸及通信