環保流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。

青島芯笙MFC-S500系列氣體質量流量控制器，采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器芯片，具有*的氣體流道設計，可實現靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面，提供多種數字和模擬控制方式，并配備工業級顯示屏，方便客戶現場調試和配置。

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